BSGS大宗特氣柜

大流量特殊氣體供應系統(Bulk Specialty Gas Supply System),簡稱BSGS，可實現電子特殊氣體的持續大流量不間斷安全供應，主要適用于Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED等工廠特氣(如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl)的集中供氣。

ST9300 BSGS可適應ISOs，tube trailers，Y-cylinders，drums, cylinder packs, 等各種氣源的供給方式，基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷(當設定報警信號被觸發時)。

BSGS采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、溫控等裝置，實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局、調壓閥J-T效應加熱器等，既滿足了半導體工藝生產過程中對特殊氣體連續大流量供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。
    
適合氣體：易燃性，腐蝕性，毒性氣體，諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等