瑞斯達流體的超高純氣體輸送系列解決方案，關注從氣源到使用點，再到尾氣處理的每一個環節，設計、制造、現場安裝調試到運行管理和維護保養等。解決方案實現安全穩定、無污染、滿足工藝制程要求的供應，是產線良率保障的關鍵系統之一。同時，滿足工藝也兼顧環保達標排放。

超高純氣體配管技術是高純氣體供氣系統的重要組成部分，是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵技術;所謂高純氣配管技術包括系統的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和 試驗測試等內容。氣體管道工程，主要產品有于減壓閥，卡套接頭，閥門管件，管道系統安裝、球閥針閥、VCR接頭、焊接接頭、阻火器、過濾器、氣體管道系統、高純管道系統、不銹鋼潔凈管等產品。

如何避免輸送過程中系統對高純氣體的二次污染便成為超高純氣體輸送系統的首要考量。另外，泛半導體行業所使用的各類特殊氣體通常具有易燃、易爆、劇毒、腐蝕、窒息等各種危險特性。同時，由于泛半導體行業工藝復雜先進，對超高純氣體的質量保障和系統穩定運行提出了嚴苛的要求。

因此，在高純氣體輸送系統的設計、安裝和運行過程中需要充分考慮潔凈度、安全性、穩定性等關鍵因素。超高純氣體輸送系統在系統開機調試之前必須通過保壓測試、氦檢漏測試、水分增量測試、氧分增量測試、顆粒度增量測試來保證系統的高潔凈度和高安全度。

高純氣體輸送系統整體解決方案包括:

① 大宗氣體供應系統;

② 特殊氣體供應系統;

③ 純化器系統;

④ 在線氣體品質監控系統;

⑤ 氣體泄露偵測系統;

⑥ 氣體設備運行管理系統;

⑦ 尾氣處理系統;

⑧ 氣體供應管路系統和二次配工程